集積型極低温電流比較器の提案(信号処理基盤技術及びその応用,一般)
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概要
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超伝導集積回路技術を用いた小型の極低温電流比較器(CCC)を提案する.超精密測定などで広く用いられる従来のCCCは,一般に鉛バルクを用いて構成され,数〜十数センチの大きさを持つ.その作製には高い技能を要する上,動作のために液体へリウム冷却を必要とする。さらに、機械的な強度が低く耐久性や信頼性が低い、測定において振動の影響を受けやすい、などの欠点を有する.立体的に複雑な構造が必要なCCCは、従来の超伝導薄膜プロセスでは実現できなかった。しかし、超伝導集積回路用に開発された多層化配線プロセスを用いてCCCを集積化すれば,これらの欠点は克服され,小型で冷凍機冷却が可能な,高信頼,高機能な集積型CCC (ICCC)が実現可能である.ICCCの基本原理や設計,作製プロセスについて述べた後,現在までに行われた基礎実験結果を紹介し,将来展望について議論する.
- 2010-07-15
著者
-
日高 睦夫
超電導工学研究所
-
日野出 憲治
超電導工学研究所
-
佐藤 哲朗
超電導工学研究所
-
永沢 秀一
超電導工学研究所
-
日高 睦夫
(財)国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所
-
前澤 正明
産業技術総合研究所
-
前澤 正明
電子技術総合研究所
-
日高 睦夫
国際超電導産業技術研究センター
-
浦野 千春
産業技術総合研究所
-
丸山 道隆
産業技術総合研究所
-
山田 隆宏
(独)産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門
-
日高 睦夫
財)国際超電導産業技術研究センター
-
日高 睦夫
国際超電導産業技術研究セ
-
丸山 道隆
(独)産業技術総合研究所
-
浦野 千春
(独)産業技術総合研究所
-
大江 武彦
(独)産業技術総合研究所
-
前澤 正明
(独)産業技術総合研究所
-
佐藤 哲朗
(財)国際超電導産業技術研究センター
-
永沢 秀一
(財)国際超電導産業技術研究センター
-
日野出 憲治
(財)国際超電導産業技術研究センター
-
金子 晋久
(独)産業技術総合研究所
-
金子 晋久
産総研計測標準研究部門
-
金子 晋久
産業技術総合研究所
-
永沢 秀一
Istec-srl
-
日高 睦夫
(財)国際超電導産業技術研究センター
-
山田 隆宏
(独)産業技術総合研究所
-
前澤 正明
産総研ナノエレクトロニクス研究部門
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