タイプII構造の集積型極低温電流比較器の設計(超伝導センシング基盤技術及びその応用,一般)
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概要
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II型のICCCの設計のため、その要素回路の超伝導体インダクタンスについて、市販の電磁界解析ソフトを用いた計算方法の検討を行った。まず、フリップチップ接続型超伝導量子干渉素子(SQUID)のインダクタンスについて解析し、測定結果と比べて20%程度の範囲内で一致した。次いで、II型ICCCのインダクタンスについても計算も行い、近似式により計算した結果とオーダー的に一致した。最後に、それらの計算結果を用いて、II型ICCCの設計指針を作成した。6層配線を用いて線幅/線間=1.5μm/1.5μmの設計ルールで18mm角チップ内に搭載する場合、50000ターンの巻き線を集積することができ、巻き線一巻きあたりに流れる入力電流に対するSQUID磁束計の感度として0.32pH/turnを得られることがわかった。
- 2011-01-17
著者
-
日高 睦夫
超電導工学研究所
-
佐藤 哲朗
超電導工学研究所
-
永沢 秀一
超電導工学研究所
-
前澤 正明
産業技術総合研究所
-
前澤 正明
電子技術総合研究所
-
日高 睦夫
国際超電導産業技術研究センター
-
浦野 千春
産業技術総合研究所
-
丸山 道隆
産業技術総合研究所
-
山田 隆宏
(独)産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門
-
日高 睦夫
財)国際超電導産業技術研究センター
-
丸山 道隆
(独)産業技術総合研究所
-
浦野 千春
(独)産業技術総合研究所
-
大江 武彦
(独)産業技術総合研究所
-
前澤 正明
(独)産業技術総合研究所
-
佐藤 哲朗
(財)国際超電導産業技術研究センター
-
永沢 秀一
(財)国際超電導産業技術研究センター
-
日野出 憲治
(財)国際超電導産業技術研究センター
-
金子 晋久
(独)産業技術総合研究所
-
金子 晋久
産総研計測標準研究部門
-
金子 晋久
産業技術総合研究所
-
永沢 秀一
Istec-srl
-
日高 睦夫
(財)国際超電導産業技術研究センター
-
山田 隆宏
(独)産業技術総合研究所
-
日高 睦夫
国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所
-
日高 睦夫
国際超電導産技研センター
-
永沢 秀一
国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所
-
前澤 正明
産総研ナノエレクトロニクス研究部門
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