2P1-J09 指紋によるポリマー触覚センサーの感度向上
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概要
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In this paper, a Micro-scale polymer-based tactile sensor with epidermal ridges is proposed to enhance the sensitivity of force detection. The proposed tactile sensor is firstly designed by FEM analysis, and series of simulations are conducted to optimize the geometrical parameters, the width and the height of the ridge are adjusted to be 400um and 170um. Then, the tactile sensor is fabricated using MEMS technology. Copper is deposited as the strain gages on the medium layer (Polyimide) with the line width of the circuit about 15um. Experiments' result shows that with the certain epidermal ridges, the outputs of strain gages can achieve an enhancement about 2.5 times as sensitive as the ordinary tactile sensor.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2009-05-25
著者
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