317 UVレーザを用いた微粒子トラップによる微細加工に関する研究(OS-10 加工計測・評価)
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概要
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The novel finishing process using the optically trapped particle as a polishing tool have developed in order to improve the surface quality as well as a few nano meter RMS. This process enables to polish the surface in selected area as small as 10μm^2. The mechanical contact of the particle makes the roughness of the substrate smooth. It is considered that a machining process is enhanced by the thermal, chemical and photo induced effect. In this report, we perform the laser trapping of a silica particle with a diameter of 1 micro meter by using ultraviolet laser in order to investigate the photo induced effect in UV wavelength.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2006-11-24
著者
-
林 照剛
茨城大学工学部超塑性工学研究センター
-
高谷 裕浩
大阪大
-
三好 隆志
大阪大学大学院
-
林 照剛
茨大
-
林 照剛
大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻
-
日高 敏揮
大阪大院
-
高谷 裕浩
大阪大院
-
三好 隆志
大阪大院
-
林 照剛
大阪大院
-
高谷 裕浩
大阪大学大学院
-
林 照剛
大阪大学大学院
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