C37 非球面マイクロレンズ金型のオンマシン表面性状計測システムの開発(OS-5 加工計測・評価)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
A novel surface measurement system has been developped in order to evaluate the process of fabricating micro lenses. White light interferometer is conventionally applied for the flat surface and sphreical surface of lens mold. However it is difficult to evaluate the non-spherical lens mold by using the white light interferometer. We propose light scattering method which applied the extended TIS model in order to evaluate a surface texture of a non-spherical microlens mold. In this report we describe the experiment result wihtch measure the surface roughness of flat Si wafer coated with Cu. The developed system can detect scattered light pattern from the surface, and the roughness is agreed with theoritical model of TIS.
- 2008-11-21
著者
-
高谷 裕浩
大阪大学大学院工学研究科
-
林 照剛
茨城大学工学部超塑性工学研究センター
-
高谷 裕浩
大阪大
-
林 照剛
大阪大
-
本石 直弘
大阪大
-
林 照剛
茨大
-
林 照剛
大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻
-
高谷 裕浩
大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻
-
林 照剛
大阪大学大学院
関連論文
- 小径工具切れ刃プロファイルの光回折オンマシン計測に関する研究 : 第2報,極小径工具(φ300μm)摩耗の測定評価(機械力学,計測,自動制御)
- 小径工具切れ刃プロファイルの光回折オンマシン計測に関する研究 : 第1報,光回折ゲージ法の提案とその検証実験(機械力学,計測,自動制御)
- 313 極小径工具切れ刃プロファイルの光回折オンマシン計測に関する研究 : 摩耗切れ刃の検証実験(OS10 加工計測・評価)
- レーザー加熱を用いた鉄の局所表面アルミニウム粉末被覆(表面処理・腐食)
- レーザー3次元走査法による鉄鋼材料の粉末共晶被覆
- レーザアシステッドCMP加工の研究 : 第5報 レーザ微粒子集積痕の形成
- S1303-1-1 非球面マイクロレンズ金型の非接触表面性状評価システムの開発(加工計測・評価システム(1))
- 液晶マスクを用いた非積層マイクロ光造形法に関する研究(第2報) : 液晶動画像を用いた薄層型積層造形
- 715 液晶アクティブマスクを用いた DNA チップ合成システムの開発
- 224 SLS 法を用いた薄肉形状熱交換器の製作
- 130 アトマイズ鉄粉のレーザ焼結特性及び積層特性に及ぼす銅含有量の影響(OS 粉末加工(1))
- 光逆散乱位相法による微細加工形状計測に関する研究 : 周期微細溝形状の位相回復
- REのための測定点群データに基づく自由曲面生成
- シリコンウェハ薄膜層モデルによる電磁波散乱シミュレーション
- 液晶マスクを用いた非積層マイクロ光造形法に関する研究(第1報) : 濃淡画像による非積層造形
- 409 多波長蛍光の同時検出による高効率 DNA チップ検出装置の開発
- 光回析による小径工具切れ刃の断面プロファイル計測法に関する研究(第1報):ねじれ刃の精度に及ぼす影響
- 614 超細粒鋼レーザ溶接熱影響部の組織変化
- 3404 水酸化フラーレンを用いた超平坦化加工に関する研究 : 第2報 平坦化特性の検証(G13 生産加工・工作機械,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- セラミックナノ粒子混合樹脂を用いた液晶マイクロ光造形法に関する研究
- 536 セラミックナノ粒子混合樹脂を用いた液晶マイクロ光造型法 : グレースケールの効果(OS7 ナノ・マイクロ加工)
- 1513 光散乱法を用いたマイクロレンズ金型の非接触表面性状評価(S76 加工計測・評価システム,S76 加工計測・評価システム)
- ナノ振動型レーザトラップにおけるプローブ周囲流体解析シミュレータの構築(生産加工・工作機械の規範2008)
- 水酸化フラーレンスラリーを用いたCu-CMP加工法に関する研究 : ―研磨特性の検証―
- 自己組織型マイクロ光造形法に関する研究
- C37 非球面マイクロレンズ金型のオンマシン表面性状計測システムの開発(OS-5 加工計測・評価)
- C34 ナノ振動型レーザトラップにおけるプローブ周囲流体解析シミュレータの構築(OS-5 加工計測・評価)
- 3403 光放射圧を利用したマイクロプローブによるナノ三次元座標測定に関する研究(G13 生産加工・工作機械,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 非接触式義歯形状計測センサの開発研究
- 16・8 加工計測(16.加工学・加工機器,機械工学年鑑)
- 3511 水酸化フラーレンを用いた超平坦化加工に関する研究(S65 加工計測・評価システム,S65 加工計測・評価システム)
- 3513 金属フィラーを用いた液晶マイクロ光造形に関する研究(S65 加工計測・評価システム,S65 加工計測・評価システム)
- 輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハの表面異物欠陥検出法に関する研究(第2報) : 走査欠陥計測法の提案
- 317 UVレーザを用いた微粒子トラップによる微細加工に関する研究(OS-10 加工計測・評価)
- 315 レーザトラップを用いたナノ3次元位置検出プローブに関する研究 : 2次元振動プローブの特性評価(OS-10 加工計測・評価)
- 銀粒子混合樹脂を用いた液晶マイクロ光造形法に関する研究
- 16・8 加工計測(16.加工学・加工機器,機械工学年鑑)
- 輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハの表面異物欠陥検出法に関する研究(第1報) : 欠陥検出原理とその検証実験
- 赤外エバネッセント光によるSOIウエハ薄膜層欠陥検出に関する研究 : SOI層表面エバネッセント場の特性解析
- 2624 レーザ回折を利用した極小径エンドミルの3次元切れ刃プロファイル計測(S72 加工計測・評価システム)
- 19・1 測定・光学機器(19.情報・精密機械,機械工学年鑑)
- 分子動力学法による光放射圧マイクロ加工現象の解析
- 光放射圧制御微粒子集積現象に基づくCMP加工に関する基礎的研究
- レーザアシステッドCMP加工の研究:第4報微小凸部の除去研磨特性
- 光放射圧を利用した微粒子集積マイクロ加工に関する研究
- レーザアシステッドCMP加工の研究 : 第1報 基本概念の提案
- 光放射圧制御マイクロプローブ球を利用した定在場スケール変位センサの研究 (第14回 知能メカトロニクスワークショップ講演論文集)
- 光放射圧振動制御型プローブを利用したマイクロ3次元形状計測に関する研究 (第13回 知能メカトロニクスワークショップ講演論文集)
- 精密工学会校閲委員会からのお知らせ : より速く, より広く, そしてより高く(JSPEだより)
- 水環境下でのDLC膜のトライボロジー特性に及ぼす荷重と速度の影響
- DLC膜の水中でのトライボロジー特性に対する相手材の曲率の影響(Visual Presentation Contest)
- 赤外エバネッセント光によるシリコンウエハ加工表面層欠陥検出に関する研究(第1報) : 理論的・実験的検討
- 赤外エバネッセント光によるSiウエハ加工表面層欠陥検出に関する研究(第4報):マイクロスクラッチの検出基礎実験
- 赤外エバネッセント光によるシリコンウェハ加工表面層の微小欠陥検出に関する研究(第2報) : FDTD法に基づいた微小欠陥検出特性
- 赤外エバネッセント光によるシリコンウェハ加工表面層の微小欠陥検出に関する研究-エバネッセント光発生メカニズムのFDTD解析-
- 1153 環境低負荷型グリーンテープを用いたレーザ 3 次元部品の製造
- 自由曲面形状の3次元エッジプロファイル計測に関する研究(第1報) : 光リング画像によるエッジ自動検出
- 自由曲面形状の3次元エッジプロファイル計測に関する研究(第5報) : 複合計測手法によるエッジプロファイルの高速検出
- 3604 非接触 3 次元エッジプロファイル自動計測に関する研究
- 自由曲面形状の3次元エッジプロファイル計測に関する研究(第4報) -3次元エッジ抽出アルゴリズムの検証-
- 自由曲面形状の3次元エッジプロファイル計測に関する研究(第3報) -エッジライン抽出法-
- 自由曲面形状の3次元エッジプロファイル計測に関する研究(第2報) -エッジ位置検出の高精度化-
- BSOによる位相共役光を用いたホログラフィー光造形法の基礎特性解析(第2報) : 硬化メカニズムの解析
- 測定誤差を考慮したへリカル歯形の成形研削誤差計測
- 測定誤差にロバストな歯車歯形の成形研削加工誤差計測方法
- 光散乱パターンを用いたシリコンウエハ加工表面欠陥のインプロセス計測に関する研究(第1報) : 微小付着異物の光散乱パターン特性解析
- 高密度測定点データに基づく自由曲面生成法に関する研究 (第2報) : 擬頂点を用いた曲線・曲面の接続法
- 高密度測定点データに基づく自由曲面生成法に関する研究 (第5報)-B-spline閉曲線のあてはめ-
- リバースエンジニアリングのための高密度形状計測と形状処理法
- 高密度測定点データに基づく自由曲面形状処理
- 高密度測定点データに基づく自由曲面生成法に関する研究(第1報) : 境界高密度計測法と特徴領域抽出法の提案
- 高密度測定点データに基づく自由曲面生成法に関する研究 (第4報) -擬頂点を用いた曲線・曲面の接続-
- 光放射圧制御プローブを用いたマイクロ3D形状計測の可能性
- 光散乱パターンを用いたシリコンウエハ加工表面欠陥のインプロセス計測に関する研究(第2報) : 高速欠陥計測法の提案
- シリコンウェハ加工表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究 (第8報) -光検出パターンに基づく欠陥位置検出法-
- レーザ光検出パターンによるシリコンウェハ加工表面の欠陥識別
- ナノCMMレーザトラッピングプローブに関する研究(第1報) : 3次元位置検出の基本原理
- 光放射圧を利用した微粒子操作によるマイクロ加工に関する基礎的研究
- 光放射圧を利用した微粒子操作によるマイクロ加工に関する研究(第4報) -加工メカニズムの実験的検討-
- 金型加工曲面の光リング式3D形状計測センサの開発研究(第1報) : 金属面の光散乱シミュレーションとその検証
- 金型加工曲面の光学式3D形状計測センサの開発研究(第3報) -光散乱シミュレータの構築とその検証-
- 光放射圧マイクロ加工ツールの運動解析シミュレーション
- 光リング式変位センサによる機械加工曲面形状の誤差評価 : 光リング画像処理法の一考察
- 暗視野輪帯光学系を用いたSiウエハ加工表面欠陥計測に関する研究 : 暗視野輪帯光学系の設計
- シリコンウェハ加工表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究(第10報) -光散乱パターンを用いたCOP欠陥検出-
- 【知的ナノ計測専門委員会】 知的ナノ計測による革新的ものづくり基盤技術の創出
- 光放射圧を利用したナノCMMマイクロプローブ(メソスケール三次元形状測定技術)
- 光回折・散乱を利用した加工表面計測(はじめての精密工学)
- 3次元微小形状のナノ加工計測
- 液晶光造形法によるマイクロ3次元形状加工
- マイクロ部品のナノ3次元形状計測(ナノメートルを測る技術)
- 金型三次元曲面の格子投影型オンマシン形状計測法の開発(第1報) : 動的参照面法の提案とその検証
- 暗視野輪帯光学系を用いたSiウエハ加工表面欠陥計測に関する研究(第4報):凹凸欠陥識別法の提案
- 16・8 加工計測(16.加工学・加工機器,機械工学年鑑)
- 光散乱によるCMP加工表面薄膜欠陥計測に関する研究(第3報):付着異物の散乱特性
- 暗視野輪帯光学系を用いたSiウエハ加工表面欠陥計測に関する研究(第3報) : 暗視野検出部の改善
- TFT液晶を用いた一体光造形法に関する研究(第2報) : 液晶動画像による連続形状創成
- ポリグリセロール修飾ナノダイヤモンドを用いた平坦化加工に関する研究
- ポリグリセロール修飾ナノダイヤモンドを用いた銅膜の平坦化加工に関する研究
- タイトル無し