3403 光放射圧を利用したマイクロプローブによるナノ三次元座標測定に関する研究(G13 生産加工・工作機械,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
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概要
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A nano-coordinate measuring machine (nano-CMM) has been developed to achieve a measuring accuracy of 50 nm and a measuring volume of 10 mm^3. To meet these stringent requirements, a probe based on the laser trapping technique is employe d as a micro-probe. This paper describes the development of the nano-CMM system with a laser-trapping probe and also des cribes the performance of the probe via an assessment of the flatness and sphere. It is observed that our developed nano-coo rdinate measuring system can measure three-dimensional objects with estimated uncertainty of 335 nm (k = 2).
- 2008-08-02
著者
-
高谷 裕浩
阪大
-
林 照剛
茨城大学工学部超塑性工学研究センター
-
中井 大介
阪大
-
林 照剛
茨大
-
林 照剛
大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻
-
高谷 裕浩
大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻
-
道畑 正岐
阪大
-
林 照剛
阪大
-
林 照剛
大阪大学大学院
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