615 異なる炭化水素により作製した DLC 膜のトライボロジー特性
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概要
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DLC (Diamond-like carbon) films were deposited by a plasma CVD method using various hydorocarbons. The friction and wear test was carried out changing sliding speed, normal load and relative humidity. The wear track and debris were observed by optical microscope and SEM. The friction coefficient of DLC films had a tendency to increase in high humidity and the specific wear rate of DLC films decreased in high humidity. The fold pattern was observed on the friction surface of DLC film especially in high humidity test. The features of debris on DLC films varied by changing humidity. The friction and wear properties of DLC films deposited by various hydrocarbons had no obvious difference.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2002-08-23
著者
-
前川 克廣
茨城大学工学部
-
田中 章浩
産総研
-
前川 克廣
茨城大
-
西堀 隆之
茨大院
-
林 照剛
大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻
-
林 照剛
茨城大
-
西堀 隆之
茨城大院
-
田中 章浩
産業技術総合研 ナノカーボン研究セ
-
林 照剛
大阪大学大学院
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