光応用計測

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 応用物理学会分科会日本光学会の論文
• 2013-04-10

著者

• 高谷 裕浩

  大阪大

関連論文

• 小径工具切れ刃プロファイルの光回折オンマシン計測に関する研究 : 第2報,極小径工具(φ300μm)摩耗の測定評価(機械力学,計測,自動制御)
• 小径工具切れ刃プロファイルの光回折オンマシン計測に関する研究 : 第1報,光回折ゲージ法の提案とその検証実験(機械力学,計測,自動制御)
• 313 極小径工具切れ刃プロファイルの光回折オンマシン計測に関する研究 : 摩耗切れ刃の検証実験(OS10 加工計測・評価)
• シリコンウェハ薄膜層モデルによる電磁波散乱シミュレーション
• 3404 水酸化フラーレンを用いた超平坦化加工に関する研究 : 第2報 平坦化特性の検証(G13 生産加工・工作機械,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• セラミックナノ粒子混合樹脂を用いた液晶マイクロ光造形法に関する研究
• 536 セラミックナノ粒子混合樹脂を用いた液晶マイクロ光造型法 : グレースケールの効果(OS7 ナノ・マイクロ加工)
• 1513 光散乱法を用いたマイクロレンズ金型の非接触表面性状評価(S76 加工計測・評価システム,S76 加工計測・評価システム)
• 回転積層工法によるモータのトルク脈動低減に関する研究
• 自己組織型マイクロ光造形法に関する研究
• C37 非球面マイクロレンズ金型のオンマシン表面性状計測システムの開発(OS-5 加工計測・評価)
• C34 ナノ振動型レーザトラップにおけるプローブ周囲流体解析シミュレータの構築(OS-5 加工計測・評価)
• 16・8 加工計測(16.加工学・加工機器,機械工学年鑑)
• 3511 水酸化フラーレンを用いた超平坦化加工に関する研究(S65 加工計測・評価システム,S65 加工計測・評価システム)
• 3513 金属フィラーを用いた液晶マイクロ光造形に関する研究(S65 加工計測・評価システム,S65 加工計測・評価システム)
• 輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハの表面異物欠陥検出法に関する研究(第2報) : 走査欠陥計測法の提案
• 317 UVレーザを用いた微粒子トラップによる微細加工に関する研究(OS-10 加工計測・評価)
• 316 光回折を用いたマイクロ工具オンマシン計測ユニットの試作 : 計測ユニットの基本特性(OS-10 加工計測・評価)
• 315 レーザトラップを用いたナノ3次元位置検出プローブに関する研究 : 2次元振動プローブの特性評価(OS-10 加工計測・評価)
• 銀粒子混合樹脂を用いた液晶マイクロ光造形法に関する研究
• 16・8 加工計測(16.加工学・加工機器,機械工学年鑑)
• 輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハの表面異物欠陥検出法に関する研究(第1報) : 欠陥検出原理とその検証実験
• 赤外エバネッセント光によるSOIウエハ薄膜層欠陥検出に関する研究 : SOI層表面エバネッセント場の特性解析
• 2624 レーザ回折を利用した極小径エンドミルの3次元切れ刃プロファイル計測(S72 加工計測・評価システム)
• 2623 光散乱法を用いたカムシャフト表面の欠陥検出に関する研究(S72 加工計測・評価システム)
• 19・1 測定・光学機器(19.情報・精密機械,機械工学年鑑)
• 精密工学会校閲委員会からのお知らせ : より速く, より広く, そしてより高く(JSPEだより)
• Fundamental Properties of Chemical Mechanical Polishing for Copper Layer Assisted by Optical Radiation Pressure(Advanced Manufacturing Technology)
• 光応用計測

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク