20604 静圧エアスライダの運動精度特性に関する研究(力学と制御)
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概要
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In this paper, we propose a new separation technique for measuring movement accuracy of linear slider and the profile of the object. In addition, we make clear the limit and the validity of it. The new method can reproduce higher order terms of the Fourier series that is used to model the profile and the movement accuracy with small errors. On the other hand, the measuring accuracy in lower order terms is not so high. In experiment of measuring movement accuracy of a hydrostatic gas bearing slider, it is clarified that the movement accuracy increases as the supply pressure becomes high.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2006-03-09
著者
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