2307 微小レンズ駆動用静電アクチュエータの出力特性に関する要因分析(OS8-2 アクチュエータシステム(2))

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概要

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• A newly developed linear electrostatic microactuator is described. Thus far, authors have proposed an electrostatic linear microactuator with vibrating motion in order to avoid the influence of the friction. Satisfactory characteristics are achieved about low energy consumption, output force, moving speed, and positional accuracy. However, there are several difficulties about putting it into practical use. Fabrication cost is very high, and it is hard to produce in large quantities. To clear up these problems, the factor analysis about output force is done.

• 社団法人日本機械学会の論文
• 2006-05-28

著者

• 野中 聡

  旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座

• 石田 芳也

  北見赤十字病院耳鼻咽喉科・頭頸部外科

• 嶋 康男

  東芝

• 嶋 康男

  (株)東芝

• 古賀 章浩

  東芝

• 古賀 章浩

  株式会社 東芝

• 秋葉 敏克

  東芝

• 吉田 充伸

  東芝

• 森 和彦

  東芝

• 秋葉 敏克

  (株)東芝 研究開発センター 機械・システムラボラトリー

• 吉田 充伸

  東芝 研究開発センター 機械システム研究所

• 吉田 充伸

  (株)東芝研究開発センター

• 吉田 充伸

  (株)東芝 研究開発センター 機械・システムラボラトリー

• 古賀 章浩

  株式会社東芝

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