半導体結晶の溶液成長における固液界面形態安定性に関する研究成果報告
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概要
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本報告では,半導体結晶の溶液成長過程における以下の研究成果を述べる.(1)半導体結晶の溶液成長過程における固液界面の形態変化に及ぼす基板結晶の面方位の影響を調べるために近赤外顕微鏡を使ったその場観察実験が実施された.その結果,対流を抑制することでGaP/GaP成長界面のステップカイネティクス係数の面方位依存性が得られ,結晶成長時におけるマクロステップの挙動が評価された.また,GaAs_xP_<1-x>/GaPヘテロLPE 成長初期の固液界面の表面形態変化が基板表面の面方位依存性の視点から議論された.(2)静磁場THM 法によりTe 溶液から育成したCdZnTe 結晶の成長界面が急冷法によって調べられた.その結果,浮力対流を抑制することで速い引き下げ速度でも良質なCdZnTe 成長結晶を得られることを示した.
- 宇宙航空研究開発機構の論文
著者
-
野中 聡
旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座
-
野中 作太郎
九州電気専門学校
-
稲富 裕光
宇宙航空研究開発機構 宇宙科学研究本部 宇宙環境利用科学研究系
-
稲富 裕光
JAXA
-
神保 至
東海大学工学部材料科学科
-
中村 龍太
アイ・エイチ・アイ・エアロスペース
-
稲富 裕光
宇宙航空研究開発機構・宇宙科学研究本部
-
王 躍
昆明物理学研究所
-
菊池 正則
東海大学
-
内田 祐樹
東海大学
-
神保 至
東海大学
-
神保 至
Department Of Materials Science School Of Engineering Tokai University
-
稲富 裕光
宇宙航空研究開発機構
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