Improvement of the Uniformity of Tungsten / Carborn Multilayers by Thermal Processing

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1994-01-15

著者

• NAKAMURA Hiroshi

  Research Center for Advanced Science and Technology, the University of Tokyo

• Murakami K

  静岡大学電子工学研究所

• Nagata H

  Sumitomo Osaka Cement Co. Ltd. Chiba Jpn

• OSHINO Tetsuya

  Research Laboratory, Nikon Corporation

• MURAKAMI Katsuhiko

  Research Laboratory, Nikon Corporation

• OHTANI Masayuki

  Research Laboratory, Nikon Corporation

• NAGATA Hiroshi

  Research Laboratory, Nikon Corporation

• Murakami Kouichi

  Institute Of Material Science University Of Tsukuba

• Oshino Tetsuya

  R&d Headquarters Nikon Corporation

• Oshino Tetsuya

  Precision Equipment Company Nikon Corporation

• Ohtani M

  Obihiro Univ. Agriculture And Veterinary Medicine Obihiro Jpn

• Murakami K

  Research Institute Of Electronics Shizuoka University

• Oshino Tetsuya

  Research Laboratory Nikon Corporation

• Nagata Hiroshi

  Research Laboratories Nikon Corporation

• Nakamura Hiroshi

  Research And Development Division Technical Research Loborotory Kawasaki Dockyard Co. Ltd.

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