TEOS低温プラズマCVDによる石英PLCカプラの開発
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概要
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近年、FTTH実現のためにWDM機能を有する石英PLC(Planar Lightwave Circuit)カプラの開発が積極的に行われている。前回我々は、TEOS(Tetra Ethyl Ortho silicate)をソースとして用いた低温プラズマCVD法により、フッ素をドープした二酸化ケイ素膜を58μmの厚みで形成することにより良好な石英PLCカプラを作製できることを示した。今回、光フィルタ埋め込み型WDM方式の石英PLCカプラの試作を行い、フィルタの入射角に対する波長特性を評価したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-09-18
著者
-
野中 聡
旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座
-
野中 源一郎
九州大学薬学部
-
野中 薫雄
琉球大学医学部器官病態医科学講座皮膚科
-
石田 芳也
北見赤十字病院耳鼻咽喉科・頭頸部外科
-
松本 浩
東洋通信機株式会社中央研究所
-
田中 啓之
東洋通信機株式会社中央研究所
-
藤井 陽一
日本大学理工学部電子工学科
-
松村 文雄
東洋通信機株式会社 中央研究所
-
中仙道 和之
東洋通信機株式会社中央研究所
-
藤井 陽一
日本大学理学部
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