Geイオン注入poly-Si膜の抵抗率の熱処理効果
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概要
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poly-Si膜にGeをイオン注入した後、固相再結晶化を行うとSiイオン注入膜より大きなグレインを形成した膜が得られた。この膜中に作製したpnダイオードは、リーク電流が小さくon/off比の大きい良好なダイオード特性を示した。一方、ノンドープおよび低ドープ膜に950℃以上のアニールを施すと大幅な抵抗率の減少がみられ、p型からn型へ変わった。これは、as-depo.膜ではみられない現象で、Geドーズ量の多い膜ほど顕著に現れた。この現象の原因を解明するため、いくつかの仮定を設けて実験を行い、検討を行った。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-13
著者
-
野中 聡
旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座
-
野中 作太郎
九州電気専門学校
-
和田 恵治
慶應義塾大学理工学部電気工学科
-
山本 寛
慶應義塾大学理工学部電気工学科
-
桑野 博
慶應義塾大学理工学部電気工学科
-
桑野 博
慶応大 理工
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