SH型弾性表面波の研究を振りかえって
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概要
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本報告は, Yen等およびBrowningとLewisが水晶上で新しい弾性波としてSurface Skimming Bulk Wave (SSBW)について報告をした1977年以降の数年間に, 国の内外で行われたSH型弾性表面波の研究を振りかえるものである。このSH型弾性表面波は種々の基板上を伝搬するが, ここでは主として, 現在の移動体通信の携帯端末等に広く重用されている36°回転YカットX伝搬LiTaO_3 (36LTO)を伝搬するSH型(漏洩)弾性表面波(LSAW)の振舞いについて述べる。特に, このSH型LSAWとほぼ等しい速度で伝搬するSSBWとのかかわりについて詳述し, 実際のデバイスでは, どのような条件の下に, 何れの波動が主伝搬波動となっているかを特定する。また, 通常のレーリー型弾性表面波比べて, SH型弾性表面波がどのような特徴を有し, これが, 時として, 実際のデバイスで重要な振舞いをすることについて述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-07-21
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