浮き構造を有するZnO/パイレックスガラス複合薄膜構造共振子
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概要
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本報告では、浮き構造を有するZnO/パイレックスガラス複合薄膜構造共振子について述べる。本構造は、基板と励振部との間に空隙を設けているため任意の基板上に形成可能である。また、パイレックスガラス膜自体が支持体となるため小型化が可能である。本構造を用い共振子の試作を行ったところ、基本モードにおいて共振周波数f_rが354MHz、共振尖鋭度Q値590という値が得られた。これは、筆者らが試作した異方性エッチングを利用して作製された同一構造の共振子の値に匹敵する。また、パイレックスガラス層の下にSi層を付加することで、より膜厚が薄く歪みの少ないダイアフラムの作製が可能となり、更なる高周波化が実現できた。
- 1995-06-27
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