浮き構造を有する多層薄膜構造超音波トランスジューサ
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概要
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ZnO圧電薄膜を用いた超音波トランスジューサに関して、浮き構造を有する多層薄膜構造超音波トランスジューサを提案し試作したので、この詳細について述べる。このトランスジューサは、基板から浮いた構造を有しており、基板側への超音波伝搬を防いでいる。解析の結果、本構造に於て、各層の膜厚を最適に選ぶことで比較的低損失で広帯域な特性が実現できることが判った。実際にトランスジューサの試作をした結果、変換損失11.6dB、-3dB比帯域幅7.8%が得られた。また、試作デバイスを実際の非破壊検査に適用し、その動作の確認を行った。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-06-18
著者
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