有限膜厚多電極グレーティングにおけるSAW特性の高速解析法
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概要
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本報告では、単相一方向性弾性表面波(SAW)変換器用設計ツール構築を目的として、無限長多電極金属グレーティング上のSAW伝搬特性を高速に解析する手法を提案している。電極部に有限要素法を用いると共に、基板部にスペクトル領域法を適用し、境界面で定義した汎関数の最小化により両者の解を整合している。また、電荷分布の表現にはAokiらの手法を用いて電極端における電荷の集中を巧みに考慮している。これらのことにより、比較的少ない変数で充分な精度の解析が行える。本手法を利用して、厚さの異なる2電極指を有するグレーティングと厚さが等しく位置がずれた3電極指グレーティングにおけるSAWの分散特性を解析し、その有効性を示すと共に、それを利用した方向性の評価法についても述べている。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-09-18
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