超高周波超音波による液体流動

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概要

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本報告では、筆者らの提案しているVHFからUHF帯で動作可能な高効率な超音波トランスジューサを利用した高効率な超音波流動について報告する。即ち、このトランスジューサにより音響パワーを極めて小さな体積中に集中できるため、極めて高効率の超音波流動が実現できる。また、超音波の浸透深さが小さいため、液体の体積も小さくて済み、マイクロマニピュレータやマイクロポンプの応用に適していると考えられる。ZnO/カバーガラス構造超音波トランスジューサを利用して実験を行なったところ、極めて高効率な超音波流動が観測された。例えば、音響パワー40mWでトランスジューサ上の液面が約5mm持ち揚がった。この値は理論解析ともほぼ符合している。
1995-04-26

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