有限要素法とスペクトル領域法の組合せによるSH波励振・伝搬特性の解析

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概要

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本報告では、SAWデバイスにおける最も重要な構成要素である周期的金属グレーティング構造に於ける弾性波動の伝搬特性解析手法として、有限要素法とスペクトル領域法の組合せによるSH波励振伝搬特性の解析手法を提案した。本手法は、電極部の解析にFEMを用い、基板部についてはスペクトル領域法を用いることによって、比較的短い時間で解析が可能である。電極部にFEMを用いているため、任意形状の電極にも適用可能であり、SV、L成分を有する場合にも拡張可能である。まず、矩形電極について解析を行い、電極部にもスペクトル領域法を適用した場合の解析結果と比較することによりその妥当性を確認した。さらに、台形形状の場合についても解析し、形状による分散特性の変化を示すことにより、本手法の有効性を示した。
社団法人電子情報通信学会の論文
1994-04-27

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