ゾル-ゲルPZT圧電膜における焼成条件の検討
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概要
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本報告では、ゾル-ゲル法によるチタン酸-ジルコン酸鉛(PZT)圧電膜の堆積において、焼成条件が薄膜の特性にどの様な影響を及ぼすかについて検討した。焼成時間や焼成中の酸素導入の有無によって、結晶性と同様に圧電性が大きく変化する。下地金属の荒れも考慮して、最適条件を決定した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-06-29
著者
-
鈴木 孝志
千葉大学大学院自然科学研究科
-
大森 達也
千葉大学工学研究科
-
橋本 研也
千葉大学工学研究科
-
山口 正恆
千葉大学工学研究科
-
山口 正恒
千葉大学工学部:画像技術応用研究委員会
-
名古屋 崇
千葉大学工学部電子機械工学科
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