ゾル-ゲルPZT圧電膜における焼成条件の検討
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概要
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本報告では、ゾル-ゲル法によるチタン酸-ジルコン酸鉛(PZT)圧電膜の堆積において、焼成条件が特性にどの様な影響を及ぼすかについて検討した。焼成時間や焼成中の酸素導入の有無によって、結晶性と同様に圧電性が大きく変化する。下地金属の荒れも考慮して、最適条件を決定した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-06-29
著者
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