A-11-13 DC-TFTS法によるAIN圧電薄膜の作製とそのGHz帯デバイスへの適用
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-03-07
著者
-
大森 達也
千葉大学大学院工学研究科
-
山口 正恆
千葉大学大学院工学研究科
-
橋本 研也
千葉大学工学研究科
-
山口 正恒
千葉大学工学部:画像技術応用研究委員会
-
早川 誠
千葉大学
-
大森 達也
千葉大学 工学部 電子機械工学科
-
山口 正恆
千葉大学 工学部 電子機械工学科
-
橋本 研也
千葉大学
-
大森 達也
千葉大学
-
山口 正恆
千葉大学
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