OB4 対向ターゲットスパッタ法による圧電性ZnO薄膜の作製(圧電材料)

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概要

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• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
• 1996-10-23

著者

• 橋本 研也

  千葉大学工学研究科

• 山口 正恆

  千葉大学工学研究科

• 小川 正太郎

  千葉大学工学部

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