10GHz帯ZnO/ダイヤモンド構造SAWフィルタに関する検討
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概要
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ダイヤモンドは弾性表面波速度が非常に大きい特徴などから,これを用いたデバイスの応用研究が盛んに行われている.本研究では,ZnO/IDT/ダイヤモンド構造に着目し,10GHz帯で動作するSAWフィルタの作製を目指し,検討を行った.まず,ZnO/ダイヤモンド構造を伝搬するSAWの位相速度ならびに電器機械結合係数の理論解析を行い,最適な構造について検討を行った.次に,直流対向ターゲット式スパッタ(DC-TFTS)法によるダイヤモンド基板上へのZnO薄膜の作製に関して検討を行った.またIDTの微細化に関して,電子線露光による直接描画法とリフトオフを組み合わせた方法により検討を行った.そして,中心周波数約8.6GHzのSAWフィルタを試作した.
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-04-15
著者
-
山口 正恆
千葉大
-
山口 正恒
千葉大学工学部:画像技術応用研究委員会
-
大森 達也
千葉大学 工学部 電子機械工学科
-
橋本 研也
千葉大学 工学部 電子機械工学科
-
山口 正恆
千葉大学 工学部 電子機械工学科
-
岡安 大輔
千葉大学 大学院 自然科学研究科
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