H-2 EB露光とリフトオフ法によるGHz帯SAWデバイスの作製(弾性表面波デバイス,口頭発表)
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 2002-11-07
著者
-
山口 正恆
千葉大
-
大森 達也
千葉大
-
橋本 研也
千葉大院工
-
山口 正恒
千葉大学工学部:画像技術応用研究委員会
-
小澤 寛司
千葉大
-
橋本 研也
千葉大大学院工
-
中込 晶
千葉大
-
中込 晶
千葉大学 大学院 自然科学研究科
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