銅メッキを用いたマイクロマシニングGCPW線路
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概要
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DAM(Dielectric-Air-Metal)構造の中空線路に銅メッキ技術を適用し,アスペクト比の高いGCPW線路を試作した。すでに報告を行っているスパッタによる金を導体としたGCPWと比べて,同じ線路幅で低損失化を図ることができた。電磁界はアスペクト比の高い信号線路と左右のグランド導体との間に集中し,CPWのモードが支配的である。線路の挿入損失は40GHzまで0.25dB/mm以下であった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-10-22
著者
-
野中 聡
旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座
-
野中 倫明
東京都立大塚病院 外科
-
野中 薫雄
琉球大学医学部器官病態医科学講座皮膚科
-
石田 芳也
北見赤十字病院耳鼻咽喉科・頭頸部外科
-
高木 直
東北大学電気通信研究所
-
高木 直
三菱電機(株)光・マイクロ波デバイス開発研究所
-
西野 有
三菱電機(株)情報技術総合研究所
-
宮崎 守泰
三菱電機(株)情報技術総合研究所
-
李 相錫
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
吉田 幸久
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
吉田 幸久
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
吉田 幸久
三菱電機(株)
-
末廣 善幸
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
田口 元久
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
武田 宗久
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
Lee Sang-Seok
三菱電機(株) 先端技術総合研究所
-
Lee Sang‐seok
三菱電機
-
宮崎 守泰
三菱電機(株)
-
武田 宗久
三菱電機(株)
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