微小間隙電極間における電界放射電流の挙動(II) : 吸着気体量の概算

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概要

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FEA(Field Emitter Array)のような微小間隙間電極間においては,陰極に影響を及ぼす残留気体分子数が減少し,電極間が大きい場合に比べてその影響が小さくなることが推測される.従って電流変動は小さくなると考えられる.そこで,電界放射電流の変動について,陰極-陽極間距離をパラメータとして調べた.実験は,10^<-10>Torr,電極間距離数十mから1cmの範囲で行い,この条件下では電流変動に目立った違いは観測されなかった.そのことを解釈するため,簡単なモデルをたてた.残留気体分子が陰極に与える影響が電極間距離の変化によって変わる可能性があるか,簡単な数値計算を用いて検証した.その結果,その影響は電極間距離が変わってもほとんど変化しないという結果を得た.
社団法人電子情報通信学会の論文
1996-12-13

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