電気化学的手法を用いた垂直二層膜媒体用下地層の作製(磁性薄膜,磁気記録一般)
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概要
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Co/Pd多層膜とCo合金軟磁性裏打ち層からなる垂直二層膜媒体において,電気化学的手法により軟磁性裏打ち層上にPdシードを形成し,その析出形態,微細構造,Co/Pd多層膜の磁気特性に及ぼす影響について検討した. CoZrNb軟磁性薄膜をPdCl_2溶液に浸漬させたところ,PdとCoの酸化還元電位の差により,軟磁性薄膜上にPd金属が置換析出することが確認された. SEM観察より,このPdは島状に析出し,最適時間にて処理を行うことにより均一に分散した8 nm径のPdクラスタを形成可能であることが明らかとなった.また,このPdクラスタはスパッタにより成膜したPd薄膜と同様の結晶構造,結晶配向性を有することが示された.このPdクラスタをCo/Pd多層膜のシードとして適用したところ,PdシードなしのCo/Pd多層膜に比べて,高い垂直方向保磁力,緩やかなループ傾斜,微細な磁気クラスタ径が得られた.このような磁気特性変化は島状析出したPdクラスタによりCo/Pd多層粒子が物理的に孤立化し,粒子間交換相互作用が低減したことに起因すると考えられる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-11-07
著者
-
逢坂 哲彌
早稲田大学理工学部
-
逢坂 哲彌
早稲田大学
-
朝日 透
早稲田大学 科健機構
-
川治 純
早稲田大学
-
朝日 透
早大理工学術院:早大科健機構
-
本間 敬之
早稲田大学先進理工学部
-
木村 公治
早稲田大学
-
田中 睦美
早稲田大学理工学部
-
田中 睦美
早大理工
-
本間 敬之
早稲田大学
-
本間 敬之
早稲田大学ナノテクノロジー研究所
-
平山 貴邦
早大理工
-
田中 睦美
早稲田大学
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