湿式法による導電性酸化物電極が強誘電体薄膜の特性に与える影響
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概要
著者
-
逢坂 哲彌
早稲田大学理工学部
-
逢坂 哲彌
早稲田大学
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小岩 一郎
関東学院大学 大学院工学研究科
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小岩 一郎
沖電気工業株式会社基盤技術研究所
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金原 隆雄
沖電気工業株式会社研究開発本部半導体技術研究所
-
見田 充郎
沖電気工業
-
見田 充郎
沖電気工業(株)マイクロシステム技術研究所
-
小野 幸子
早稲田大学理工学総合研究センター
-
前田 将克
早稲田大学理工学部応用化学科
-
佐藤 豊作
沖電気工業(株)マイクロシステム技術研究所
-
前田 将克
早稲田大学理工学部
-
小岩 一郎
沖電気工業
-
佐藤 豊作
沖電気工業
-
小野 幸子
工学院大学工学部
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