Si圧痕のラマン分光解析(トライボロジー/一般)
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概要
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Si表面に形成した三角錐圧痕について、共焦点型ラマン分光装置を用いてそのスペクトル解析およびイメージング解析を行った。その結果、圧痕周辺の盛り上がり部において応力により分離した3本のピークが観察され、低波数シフトが生じていることから引張歪が加わっていることが分かった。また圧痕中心では高波数シフトが生じて圧縮歪が加わっていることが分かった。これらの歪分布は有限要素法計算によっても確認された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-10-12
著者
-
逢坂 哲彌
早稲田大学理工学部
-
逢坂 哲彌
早稲田大学先進理工学部応用化学科
-
逢坂 哲彌
早稲田大学
-
本間 敬之
早稲田大学先進理工学部
-
本間 敬之
早大理工
-
本間 敬之
早稲田大学
-
本間 敬之
早稲田大学ナノテクノロジー研究所
-
本間 敬之
Department Of Applied Chemistry School Of Science And Engineering Waseda University
-
柳沢 雅広
早稲田大学生命医療工学研究所
-
久保 暢宏
早稲田大学理工学術院
-
阪田 薫穂
早稲田大学理工学術院
-
加藤 真裕
早稲田大学理工学術院
-
平山 貴邦
早大理工
-
逢坂 哲彌
早稲田大学 理工学術院
-
柳沢 雅広
早稲田大学 生命医療工学研究所
-
本間 敬之
Department Of Applied Chemistry Waseda University
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