レーザーマイクロプローブ質量分析法による深さ方向分析についての検討
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概要
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高分解能,高感度でマイクロプロ-ブ分析が可能であるレーザーマイクロプローブ質量分析法(LAMMA)の深さ方向の分析特性をガラス基盤上にAu,Ni,Cu,Tiを既知厚さで蒸着した層状試料を用いて検討した.3段階のレーザー強度にて各々複数回の繰り返しレーザー照射を行い,質量スペクトルを測定すると共に,更に照射後のクレーターについて走査型電子顕微鏡,SIMS,オージエ電子分光法を用いて検討を行った.その結果,本法は1回照射当たり0.3〜0.6μmの平均分析深さで,極めて簡便にμmオーダーでの深さ方向分析が可能であることが明らかとなった.又,レーザーの連続照射によりクレーター底部は,再たい積物質あるいは周囲からの溶融流入物質などにより,少なくとも数十Å程度は覆われていることが示唆された.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1987-09-05
著者
-
古谷 圭一
東京理科大学理学部応用化学科
-
菊地 正
山口東理大基礎工
-
星野 清
(株)日電アネルバ
-
古谷 圭一
東理大理
-
古谷 圭一
東京理科大学・理学部
-
菊地 正
東京理科大学理学部
-
安藤 真悟
(株)日電アネルバ
-
横沢 浩樹
東京理科大学理学部応用化学科
-
古谷 圭一
東京理科大学
-
菊地 正
東京理科大学 理学部
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