イオンクロマトグラフィーによる清浄織布に付着したイオンの定量
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概要
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クリーンルーム内や半導体分野での清浄作業工程に広く使用されている清浄織布の品質管理を目的として, 織布に付着したイオン種の分析にイオンクロマトグラフィーを用いる方法を開発した.30℃で水による超音波抽出を検討した結果, 各陰イオン及び陽イオンは抽出時間25分で一定濃度に達した.又, 陰イオン及び陽イオンは別個に分析されるため, 保存した抽出液のイオン濃度の経日変化も検討した.その結果, 分析を1週間以内に行えばイオン濃度に変化がないことも分かった.更に界面活性剤を使用して4種類の織布に付着したイオン種の洗浄効果の有無についても検討した結果, 亜硝酸イオン及びカルシウムイオンは織布内に付着しやすいが, 洗浄によって約1/3程度まで除去可能であった.一方, ほかのイオンは洗浄によってほぼ完全に除去できることが分かった.本法は超音波抽出操作と組み合わせ, 織布に付着したイオン種を定量することにより, 清浄織布の品質管理に適用可能な方法である.
- 1997-07-05
著者
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