欠陥ベース故障診断手法
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概要
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LSIの高集積化や多層化に伴い、物理解析装置による解析が困難になってきている。そのため、テスト結果を用いてソフトウェアで高精度に故障位置を特定する技術が求められている。ソフトウェアの故障位置指摘では従来まで単一縮退故障モデルによる診断手法がとられてきたが、多様な欠陥に対して高精度な故障位置指摘を行うため、故障動作を正確にモデル化した故障診断を可能とした。また、モデル化による故障診断で完全に指摘できない故障に対しては、故障候補の周辺論理を調査する拡張モデル故障診断手法を確立した。本稿では、配線系のブリッジ、オープン欠陥及びセル内故障に対し、ファンクションテスト及びIDDQテストでの故障診断により、高精度に故障位置を絞り込む手法について紹介する。
- 一般社団法人情報処理学会の論文
- 2001-02-09
著者
-
高倉 正博
日立エンジニアリング(株)
-
小林 誠治
(株)日立製作所中央研究所
-
山崎 巌
(株)日立製作所マイクロデバイス事業部
-
佐藤 康夫
(株)日立製作所
-
佐藤 康夫
(株)日立製作所マイクロデバイス事業部:東京都立大学大学院工学研究科:(現)(株)半導体理工学研究センター
-
池田 聡雄
(株)日立製作所マイクロデバイス事業部
-
山中 宏樹
(株)日立製作所デバイス開発センタ
-
山崎 巌
(株)日立製作所デバイス開発センタ
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