17pTF-7 シリコン膜成長における塩素誘起積層欠陥の形成過程の研究
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2001-09-03
著者
-
中山 隆史
千葉大学理学部
-
桜井 清吾
(株)計算力学研究センター
-
中山 隆史
千葉大
-
中山 隆史
千葉大学
-
中山 隆史
千葉大学理学研究科基盤理学専攻
-
桜井 清吾
千葉大学理学部物理
-
中山 隆史
千葉大学理学研究料
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