ねじ駆動による超精密位置決め(第2報) : 比例ゲイン特性の改善によるナノメータ位置決め
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概要
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Since it was made clear by the first report that the offset error was caused by the dead band of the digital proportional gain characteristic containing a D/C converter, its characteristic was improved in order to eliminate the dead band. As a result, nanometer order magnitude of both the deviation positioning error and the dispersion positioning error could surely be obtained. In addition, the characteristic differences between the ball screw and the sliding screw were clarified at very small table displacement. The ball screw had an elastic characteristic between the screw shaft and the nut, and the sliding screw had a stick-slip between them.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1991-07-05
著者
-
深田 茂生
信州大学工学部
-
大塚 二郎
静岡理工科大学
-
大塚 二郎
東京工業大学精密工学研究所
-
深田 茂生
東京工業大学精密工学研究所
-
青木 芳人
東京工業大学大学院
-
飯田 昇
東京工業大学大学院:(現)(株)コマツ
-
川瀬 佳洋
東京工業大学大学院
-
川瀬 佳洋
東京工業大学大学院:(現)三菱重工業(株)
-
大塚 二郎
東京工業大学
-
青木 芳人
東京工業大学精密工学研究所:(現)松下通信工業(株)
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