摩擦駆動による精密位置決めの研究(第6報) : 高精度化と高速化
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概要
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The positioning system using a feedback control consists of a servo motor, a drive roller with preloaded mechanism, a driven slider supported by air bearing and a laser measuring apparatus, aiming at ultra-precise and fast positioning. This paper presents : (1) At 1 μm step positioning, nm accuracy with a mean positioning error of <ΔX_e>^^^-=-1.7 nm and a standard deviation of σ_x=3.2 nm could be obtained in 100 positioning trials. (2) At 300 mm point-to-point positioning, high accuracy of <ΔX_e>^^^-=O.017 μm, σ_x=0.16 μm, and a short settling time of t^^-_s=1.26 seconds were also achieved. (3) The relation between the motor's small torque and table small displacement has an elastic characteristic with hysteresis.
- 社団法人精密工学会の論文
- 1993-07-05
著者
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