弾性変形要素を付加したすべり送りねじによる超精密位置決め(線形な微動特性を持つ精密位置決めシステムの構成)

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概要

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• 1999-09-01

著者

• 深田 茂生

  信州大学工学部

• 陶 夏

  信州大院

• 深田 茂生

  信州大工

• 波多野 冨加史

  信州大工

• 御子紫 忠

  信州大工

• 陶 夏

  信州大工

• 賀勢 晋治

  信州大工

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