電子サイクロトロンプラズマを活用したシリコン薄膜及び極薄シリコン酸化膜の形成とその電気的評価

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 2002-10-20

著者

• 中島 寛

  九州大学産学連携センター

• 中島 寛

  九州大学先端科学技術共同研究センター

• 中島 寛

  先端科学技術共同研究センター

• 中島 寛

  九大 産学連携セ

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