AIC法により作製された多結晶シリコン薄膜形成過程(薄膜(Si,化合物,有機)機能デバイス・材料・評価技術)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Al誘起結晶化法(AIC法)は,低温で多結晶シリコン(Si)薄膜の作製が可能なプロセスとして注目されている.本研究では,種々の膜厚比で蒸着させたAlとアモルファスSi(a-Si)を対象に低温熱処理による結晶化過程について検討した.その結果,多結晶Siは最初に蒸着したAlの膜厚分だけデンドライト状に成長することが明らかになった.本研究の条件では,a-SiとAlを1:1で蒸着させた試料が多結晶Siの膜の形成状態が良好であった.また,TEM内その場加熱観察を行った結果,a-Si中にAlが固溶している様子が観察され,Siは非平衡状態のa-Si/Al固溶体を経由して結晶化することが示唆された.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-04-10
著者
-
池田 賢一
九州大学大学院総合理工学研究院
-
中島 英治
九州大学大学院総合理工学研究院
-
中島 寛
九州大学産学連携センター
-
廣田 健
九州大学大学院総合理工学府
-
藤本 健資
九州大学大学院総合理工学府
-
杉本 陽平
九州大学大学院総合理工学府
-
高田 尚記
東京工業大学大学院理工学研究科
-
井 誠一郎
崇城大学工学部
-
高田 尚記
九州大学大学院総合理工学府物質理工学専攻
-
井 誠一郎
九州大学産学連携センター
-
中島 寛
先端科学技術共同研究センター
-
廣田 健
九州大学大学院総合理工学府:(現)三菱重工業株式会社
-
杉本 陽平
九州大学大学院総合理工学府:(現)セイコーエプソン株式会社
-
中島 寛
九大 産学連携セ
-
藤本 健資
九州大学大学院総合理工学府物質理工学専攻
-
高田 尚記
九州大学大学院総合理工学府院生
-
高田 尚記
九州大学大学院総合理工学府大学院
-
井 誠一郎
物質・材料研究機構ハイブリッド材料センター
-
中島 英治
九州大学大学院総合理工学府
関連論文
- Premix-PICT 拡散法で作製したMgB_2超伝導バルク体の臨界電流特性に及ぼす微細組織の影響
- V添加10Crフェライト鋼におけるラス境界析出物の3D電子線トモグラフィー観察
- 企画にあたって
- 電子線トモグラフィーによる格子欠陥の3次元可視化
- W03(2) 超微細粒金属材料の粒界原子構造と力学的性質(【W03】超強加工による超微細粒金属の組織と強度)
- AIC法による低温多結晶シリコン薄膜形成挙動の微細構造解析(TFTの材料・デバイス技術・応用及び一般)
- アルミニウム誘起結晶化法による多結晶シリコン薄膜形成挙動のその場加熱観察
- アルミニウム誘起結晶化法による多結晶シリコン形成過程のその場加熱観察
- AIC法により作製された多結晶シリコン薄膜形成過程(薄膜(Si,化合物,有機)機能デバイス・材料・評価技術)
- 次世代ひずみSi-SGOIウエーハの微細組織観察
- MgB_2多結晶バルク体の力学特性
- α-アルミナ単結晶における破面の3D電子線トモグラフィー観察
- 電子線トモグラフィーによる結晶材料組織の3次元可視化
- FIBによる生体硬組織薄膜化とTEM観察
- Premix-PICT 拡散法で作製したMgB_2バルク体のJ_c特性と微細組織
- MgB_2多結晶バルク体の粒界性格の解析
- ディスプレイ用ガラスにおける圧子押し込み誘起表面残留応力の評価
- 薄片化したα-アルミナの応力拡大係数と亀裂進展挙動
- AIC法により作製された多結晶シリコン薄膜形成過程(薄膜(Si,化合物,有機)機能デバイス・材料・評価技術)
- AIC法により作製された多結晶シリコン薄膜形成過程(薄膜(Si,化合物,有機)機能デバイス・材料・評価技術)
- 5183アルミニウム合金の高温における延性低下
- 電子線トモグラフィーによる格子欠陥の3次元可視化
- 超強加工された純銅の粒界構造
- コイルばねクリープ試験法によるSn系はんだ合金の低応力域における高温変形挙動
- MgB_2/B多層膜の作製と超伝導特性
- 組成を変化させて作製したMgB_薄膜の超伝導特性
- MgB_2/Ni多層膜のJ_c-B特性
- MgB_2/B多層膜のJ_cの磁場依存性
- AIC法による低温多結晶シリコン薄膜形成挙動の微細構造解析(TFTの材料・デバイス技術・応用及び一般)
- 6000系アルミニウム合金の立方体方位粒形成過程
- 放射光 X 線トポグラフィーによる Fe-3wt%Si 合金双結晶の粒界移動その場観察
- 電子ビーム蒸着法で作製したMgB_2薄膜の微細組織の組成依存性
- 組成を変化させて作製したMgB_薄膜の超伝導特性
- 18Cr-9Ni-3Cu-Nb-N鋼のクリープ変形に伴う組織変化とそのクリープ破壊への影響(力学特性)
- 431 高Cr実用フェライト系耐熱鋼の応力急変試験によるクリープ変形挙動評価(余寿命と寿命延伸,高温機器・材料の損傷検出・評価・余寿命推定,オーガナイスドセッション2)
- 変形応力予測法を用いた固溶強化合金の高温における遷移応力の予測
- Fe-3wt%Si 固溶体双結晶の粒界移動とその機構
- 炭化チタンの(112)Σ3対応粒界の構造
- 比抵抗測定による固溶硬化合金の高温変形機構の判別
- Fe-3.5 at%Mo 固溶硬化合金の高温変形挙動の予測
- 析出強化型Al-0.7 at%Mn 合金の高温変形におけるしきい応力とその温度依存性
- 高温における分散強化合金のしきい応力
- 722 コイルばねクリープ試験法による鉛フリーはんだの低応力挙動解析(測定,一般セッション)
- ScとZrを複合添加したAl-Mg-Si系合金熱間圧延板に形成する析出物の形態
- 2種類の回折条件を用いた転位組織の3次元可視化
- 超高純度多結晶シリコンの高温変形挙動
- Direct Evidence of Polycrystalline Silicon Thin Films Formation during Aluminum Induced Crystallization by In-Situ Heating TEM Observation
- 硼化物サーメットの亀裂進展経路と破壊表面エネルギー
- 1E20 SiC 単結晶の亀裂進展挙動と分子動力学法による表面エネルギーとの相関
- 焼結助剤の異なる炭化ケイ素の破壊表面エネルギーと微構造組織
- 1K16 ボライド系サーメットの亀裂進展挙動に及ぼす微構造組織の影響
- ビッカース圧子による単結晶及び焼結炭化ケイ素の機械的挙動の評価
- 3E15 ボライド系サーメットの亀裂進展挙動
- 1E07 歪点の異なるガラスの残留応力評価
- in-situ MgB_2 線材の熱処理過程の組織観察
- 走査透過電子顕微鏡による鉄鋼材料の中・低倍率観察の有用性 (特集 鉄鋼リサーチの拠点展開)
- 9Crフェライト系耐熱鋼のΩ法解析とクリープ強化機構のΩ値への影響(力学特性)
- 立方体集合組織を有する高純度アルミニウム箔中に存在する非立方体方位粒の特徴
- 純銅の対称傾角粒界における粒界エネルギーとその構造
- シリコン表面エネルギーの方位依存性の評価
- 分子動力学法によるα-Al_2O_3の表面エネルギーの計算とへき開破壊についての考察
- 電解コンデンサ用アルミニウム箔の立方体集合組織形成に及ぼす加工熱処理条件の影響
- 高密度MgB_2バルクの力学特性
- 高純度アルミニウム箔の再結晶集合組織形成挙動に関する研究
- Mg-Al-Ca-Sn系耐クリープマグネシウム合金ダイカストの諸性質
- 6000系アルミニウム合金における立方体方位粒形成に及ぼす加工熱処理の影響
- その場加熱EBSP法を用いた純アルミニウム箔の再結晶過程の解析
- その場加熱SEM/EBSD法による純アルミニウム箔の再結晶挙動の解析
- パラジウム対称傾角粒界の原子構造と電子状態
- Y_2O_3 を分散させたフェライト鋼の高温における分散強化機構
- α-Al_2O_3焼結体の亀裂進展経路のSEM/EBSP解析
- シリコン結晶における破壊靱性値の方位依存性と表面エネルギー
- 2.25Cr-1Mo鋼の応力急変試験によるクリープ変形挙動の評価(力学特性)
- 改良型9Cr-1Mo鋼の応力急変試験による変形機構の判別と転位の易動度の評価
- 602 EBSP 法を用いた改良 9Cr-1Mo 鋼のクリープ変形にともなう組織変化の解析
- EBSP法を用したマルテンサイト鋼のクリープ変形組織の観察
- 純マグネシウム多結晶体の化学研磨法によるSEM/EBSP解析試料作製法とその双晶境界の解析
- I. セラミックス強度材料 弱ビーム暗視野法による窒化珪素のすべり系の同定
- β-炭化珪素の高温変形挙動に及ぼす焼結助剤BおよびCの影響
- β-窒化珪素の高温変形における活動すべり系
- Mg-Al-Ca系ダイカスト合金の低応力域における高温変形挙動
- EBSP法による電解コンデンサ用高純度アルミニウム箔の立方体集合組織形成機構の検討
- 電解コンデンサ用高純度アルミニウム箔の立方体集合組織形成過程のEBSP法による解析
- 方位像顕微鏡による気相成長させた炭化ケイ素の結晶成長の解析
- 高転位密度材料の高温変形と その組織変化
- 圧子によるフロートガラス表面残留応力の評価
- モリブデン対称傾角粒界の粒界破壊強度と粒界エネルギーの傾角依存性
- 構造用セラミックスの現状と今後の展望
- 様々な境界との7年間
- Grain Boundary Structure of Ultrafine Grained Pure Copper Fabricated by Accumulative Roll Bonding
- Change in Microstructure and Texture during Annealing of Pure Copper Heavily Deformed by Accumulative Roll Bonding
- Mg-Al-Ca系合金の高温変形挙動と内部組織
- モリブデン〓5非対称傾角粒界の原子構造
- Mg-Al-Ca系ダイカスト合金の高温変形挙動
- マグネシウム[1100]対称傾角粒界の粒界エネルギーとその構造
- 酸化物分散強化型9Crフェライト系耐熱鋼の3次元組織と高温強度
- オーステナイト系耐熱鋼のクリープ破断強度と時効後靭性におよばす窒素の影響 (鉄と鋼)
- オーステナイト系耐熱鋼のクリープ破断強度と時効後靭性におよぼす窒素の影響
- 企画にあたって
- DCマグネトロンスパッタリング法を用いた(Bi,Pb)2223薄膜の作製