次世代ひずみSi-SGOIウエーハの微細組織観察
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概要
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- 2005-12-20
著者
-
池田 賢一
九州大学大学院総合理工学研究院
-
中島 英治
九州大学大学院総合理工学研究院
-
中島 寛
九州大学産学連携センター
-
水口 隆
九州大学大学院総合理工学府物質理工学専攻
-
井 誠一郎
崇城大学工学部
-
井 誠一郎
九州大学産学連携センター
-
二宮 正晴
株式会社SUMCO
-
中前 正彦
株式会社SUMCO
-
中島 寛
先端科学技術共同研究センター
-
中島 寛
九大 産学連携セ
-
井 誠一郎
物質・材料研究機構ハイブリッド材料センター
-
中前 正彦
三菱住友シリコン(株)
-
中島 英治
九州大学大学院総合理工学府
-
水口 隆
九州大学大学院総合理工学府
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