中島 寛 | 九州大学先端科学技術共同研究センター

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• 中島 寛

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• 趙 麗巍

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• 手島 昇

  九州大学工学部電気情報工学科

• 馬場 昭好

  九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻

• 佐道 泰造

  九州大学 大学院システム情報科学

• 佐道 泰造

  九州大学システム情報科学府

• 鶴島 稔夫

  九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイスエ学専攻

• 金山 敏彦

  九州大学

• 荒木 一郎

  日立製作所

• 金山 敏彦

  九州大学:産業技術融合領域研究所

• 上下 利男

  日立原子力事業部

• 中島 寛[他]

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• 佐道 泰造

  九州大学

• 松熊 邦浩

  崇城大

• 寺川 武士

  九州大

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著作論文

• ECRプラズマを活用した高品質絶縁膜の低温形成(有機ELとTFT(シリコン、化合物、有機)及びディスプレイ技術)
• ECRプラズマを活用した高品質絶縁膜の低温形成(有機ELとTFT(シリコン,化合物,有機)及びディスプレイ技術)
• 電子サイクロトロンプラズマを活用したシリコン薄膜及び極薄シリコン酸化膜の形成とその電気的評価
• 極薄トンネル酸化膜の電気特性の膜厚依存性と熱処理効果およびFIBによるCoシリサイド微構造の低温形成
• シリコン中の鉄原子の再結合促進移動を利用した構造的に準安定な鉄-ボロン・ペアの生成
• ECRプラズマを活用した高品質絶縁膜の低温形成(有機ELとTFT(シリコン、化合物、有機)及びディスプレイ技術)
• 自律的構造形成プロセスへのアプローチ
• シリコン中の鉄の挙動シミュレーションによる太陽電池製作プロセスにおける少数キャリアライフタイムの評価と制御

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