超精密ELID鏡面研削システムによる各種硬脆材料のマイクロ加工特性
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概要
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- 2000-09-01
著者
-
守安 精
理研
-
安斎 正博
理研
-
林 偉民
秋田県立大学 システム科学技術学部機械知能システム学科
-
片平 和俊
理科学研究所
-
大森 整
理科学研究所
-
安斎 正博
理科学研究所
-
牧野内 昭武
理科学研究所
-
山形 豊
理科学研究所
-
守安 精
理科学研究所
-
林 偉民
理科学研究所
-
片平 和俊
(独)理化学研究所基幹研究所
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