223 LTP(Long Trace Profilometer)による機上形状計測(OS5 電子部品・光学部品の超精密加工)
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概要
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Measuring head of LTP (Long Trace Profilometer) with which the slope error of X-ray mirrors can be measured precisely was attached to the ultraprecision CNC-machine and the on-machine measuring system was developed. In order to measure the profile of cylindrical surfaces, the rotation mirror by which the direction of the beams can be scattered was designed. The position data in measurement was input directly from the linear scales of the machine, and simultaneously the positioning control of the rotation table and the collection of the measured data were conducted. With this system, the linearity of the machine table and the slope and profile errors could be measured and evaluated precisely.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-11-20
著者
-
加藤 純一
理化学研究所
-
大森 整
理化学研究所
-
林 偉民
理化学研究所
-
守安 精
理研
-
山形 豊
理化学研究所
-
守安 精
理化学研究所
-
山形 豊
理化学研究所中央研究所
-
山形 豊
理化学研究所vcad加工応用チーム
-
Takacs P
Brookhaven National Lab.
-
加藤 純一
理研
-
Takacs Peter
BNL
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