X線ミラー加工用超精密大型非球面ELID加工システムの開発
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2001-06-01
著者
-
森田 晋也
理化学研究所
-
大森 整
理化学研究所
-
林 偉民
理化学研究所
-
守安 精
理研
-
山形 豊
理化学研究所
-
牧野内 昭武
理化学研究所
-
守安 精
理化学研究所
-
山形 豊
理化学研究所中央研究所
-
森田 晋也
東京大学大学院
関連論文
- 28pSE-11 EUSO ミッション (29) MAPMT 開発状況(超高エネルギー宇宙線, 宇宙線)
- 407 大型SiCミラーのELID研削(OS-12 ELID加工)
- 725 イントラネットを利用したNC工作機械のリモートコントロール・モニタリング技術(切削性能の向上)(OS.1 生産加工・工作機械)
- 427 極座標型ロボットによる非球面研磨の基礎検討(OS12 研削・砥粒加工)
- 25aYS-2 放物面型多層膜スーパーミラーによる熱・冷中性子収束光学素子の開発(X線・粒子線(X線),領域10(誘電体, 格子欠陥, X線・粒子線, フォノン物性))
- 503 ナノダイヤモンドコロイドの摩擦磨耗特性(G3:強度・衝撃,G3:強度・衝撃)
- 小片工具による研磨のシミュレーション:熟練技能者を想定した研磨操作運動
- 多軸研磨ヘッドを用いた非球面研磨
- アルミニウム合金のスーパースムーズ鏡面研磨(2)
- アルミニウム合金のスーパースムーズ鏡面研磨
- 多軸ポリシャヘッドの試作
- 鉄系材料の回転バレル研磨による鏡面加工
- 炭化ケイ素セラミックスのELID鏡面研削特性
- 123 5 軸制御超精密加工機による球面回折格子の加工
- 319 宇宙線観測装置のための超広視野観測光学系用曲面フレネルレンズの加工(OS6 マイクロ加工(2))
- イオンショットドレッシング研削システムの開発
- 3512 V-Camによる機上計測フィードバック加工(S65 加工計測・評価システム,S65 加工計測・評価システム)
- 3608 V-Cam専用卓上加工機のためのノズル式ELID研削システムの開発(G13 生産加工・工作機械,G13 生産加工・工作機械)
- 3611 技能継承の支援を目的とした技能収集システムの開発(G13 生産加工・工作機械,G13 生産加工・工作機械)
- V-CAM援用による自由曲面の仕上げ加工効果
- V-CAMの開発およびそれの援用によるものつくり
- ナノ精度保証、加工誤差ゼロを追求する加工計測融合システム (特集 高精度・高品質・高効率生産を支えるインプロセス/オンマシン計測)
- 408 ELID研削と磁性流体研磨(MRF)連携加工プロセスの効果(OS-12 ELID加工)
- 406 レーザ式非接触加工機上測定システムの開発(OS-12 ELID加工)
- 405 低圧触針式機上形状測定システムの開発 : 低圧接触式プローブの高精度化(OS-12 ELID加工)
- レーザプローブによる非接触オンマシン形状測定
- 回転式卓上加工機TRIDER-Xによるミーリング加工実験
- 21105 ELID研削用ポーラス樹脂砥石の開発(プロセス技術,OS.3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体,MEMS,NEMS))
- 208 陽極酸化を援用したELID研削 : 第3報繰り返し圧延法による砥石開発(切削・研削・研磨加工II)
- 217 塑性変形加工を用いたアルミニウム砥石の開発(G1:加工・組み立て(1),G1:加工・組み立て(1))
- 1412 砥石開発プロセスにおけるトライボファブリケーション技術に関する研究(S80-2 特殊加工プロセス(2),S80 特殊加工プロセス)
- 1401 水草カーボンを用いた環境調和型ELID研削用砥石の開発(S78-1 高機能研削加工(1),S78 高機能研削加工)
- トライボファブリケーション技術構築のための新しい加工要素の研究 : 第一報 : 環境配慮型RBセラミックスボンド砥石と微粒鋳鉄ボンド砥石の開発について
- ELID研削用導電性ラバーボンド砥石の開発と加工特性
- 606 環境調和型ELID研削用RBセラミックス砥石の加工特性(GS-11 機械材料)
- 605 ELID用導電性ラバーボンド砥石の開発と加工特性(GS-11 機械材料)
- ラマン分光分析用放物面ミラーの製作:ミラーの形状精度について
- 814 放物面鏡の加工について(ELID研削)(OS.1 生産加工・工作機械)
- ELID研削技術とその新たなる展開--ナノプレシジョン加工とマイクロ化がELIDを変える (特集2 砥粒加工技術)
- 27aTF-7 大気チェレンコフ望遠鏡における補正光学系の開発(27aTF 高エネルギーガンマ線,宇宙線・宇宙物理領域)
- ナノ精度・計測融合ファブリケーションを目指す加工機上測定システム (特集 機上計測技術とその活用)
- 超高エネルギー宇宙線超広視野観測装置のための両面湾曲型両面フレネルレンズの製作:第三報4軸同時制御による非軸対称フレネルレンズの型の加工
- 超高エネルギー宇宙線超広視野観測装置のための両面湾曲型両面フレネルレンズの製作:第四報両面湾曲型両面フレネルレンズの成形方法
- 超高エネルギー宇宙線超広視野観測装置のための両面湾曲型両面フレネルレンズの製作 : 第二報 光学設計と加工機上形状計測による評価
- 超高エネルギー宇宙線超広視野観測装置のための両面湾曲型両面フレネルレンズの製作 : 第一報 超精密加工装置と加工方法
- 異方性圧縮SLIM法による精密非球面光学素子測定点群の近似曲面生成
- 2613 大型自由形状面超精密仕上げツールの開発 : 第1報:大型非球面形状加工プロセスの提案(S74-1 砥粒加工(1),S74 砥粒加工)
- 光部品開発における計測と光路シミュレーション
- VCAMの開発とその応用加工技術・事例
- VCADものつくり応用技術の研究開発
- 小径レンズ金型の超精密 ELID マイクロ研削加工
- VCAD/VCAMを利用した非球面金型加工の試み
- 527 屈折率傾斜(GRIN)光学素子へのELID研削加工の試み(OS11 研削・砥粒加工)
- 524 ELID研削面の超精密ポリシングの検討(OS11 研削・砥粒加工)
- ELID研削面の超精密ポリシングの検討
- V-CAMの開発及びそのものつくり加工(G13-2 機械加工および工作機械(2),G13 生産加工・工作機械部門)
- 317 マイクロ機械加工法とフォトリソグラフィを組み合わせた微細構造創成の試み(OS6 マイクロ加工(2))
- 大口径望遠鏡主鏡の超精密 ELID 研削加工の試み
- 砥粒加工によるマイクロメカニカルファブリケーション技法
- ナノ・マイクロストラクチャーを作り込む金型加工・成形転写技術
- 機上形状計測におけるプローブ取付誤差の測定精度への影響
- 119 サブミクロン回折格子の超精密マイクロ切削加工
- 5軸制御によるホログラム光学素子の加工
- 1406 屈折率傾斜(GRIN)光学素子の超精密ELID非球面研削加工(S78-2 高機能研削加工(2),S78 高機能研削加工)
- 機上計測用縦型超精密触針式形状測定プローブの開発
- 機上計測用小型触針式形状測定ブロープの特性評価
- 非球面リファレンスを用いた非球面干渉計測
- W10(3) 不均質構造体の変形シミュレーションとその超精密加工(ナノ精度加工プロセスとそのシステム化・実用に関する研究分科会)
- W10(2) 非球面傾斜光学機能レンズの開発と光学機能シミュレーション(ナノ精度加工プロセスとそのシステム化・実用に関する研究分科会)
- W10(1) V-Camファブリケーションシステムが拓く新しい超精密・超精緻加工(ナノ精度加工プロセスとそのシステム化・実用に関する研究分科会)
- 304 複合・連携加工プロセスによる光学素子の超精密・高品位加工(精密/微細加工と評価)
- レーザープローブを用いた非接触式機上形状測定システムの開発
- やさしいニューガラス講座 光学材料の先進超精密加工プロセス--ナノ精度を目指すELID研削、超平滑研磨、超精密切削
- 413 超精密 ELID 鏡面加工機による大形光学素子の超精密加工特性
- 触針式形状測定プローブによる微細形状の測定
- 318 中性子物質レンズのための微細溝をもつ石英フレネルレンズのELID研削による加工(OS6 マイクロ加工(2))
- ナノテクノロジーのためのELID研削技術
- 中性子物質フレネルレンズのELID研削加工
- F-0506 X線ミラーの超精密ELID研削加工(G13-2 生産加工・工作機械(2))(G13 生産加工・工作機械部門一般講演)
- X線ミラー加工用超精密大型非球面ELID加工システムの開発
- ELID研削における砥石のマイクロツルーイング
- 超精密・超微細加工を実現するELID研削法
- マイクロELID研削によるCVD-SiC非球面ミラー作製
- 507 中性子物質レンズのELID研削加工(機械工作・生産工学)
- 2614 大型自由形状面超精密仕上げツールの開発 : 第2報:大型非球面形状仕上げツールの開発(S74-1 砥粒加工(1),S74 砥粒加工)
- ナノプレシジョンを実現する加工・計測融合システム--大型加工からデスクトップ加工まで (特集1 トライボロジー試験・測定技術)
- 磁性流体研磨法によるELID研削面の高品位仕上げ(G13-1 機械加工および工作機械(1),G13 生産加工・工作機械部門)
- 究極のELIDファブリケーションを目指して--ナノプレシジョン化とマルチプロセス技術 (特集 ナノレベルを目指す研削技術の最新動向)
- ナノプレシジョン機械加工
- ELID研削法の適用効果とシステム
- 光反応性砥石の光ドレッシング特性
- 形状誤差補償制御法を用いた超精密非軸対称非球面加工 (第2報 誤差要因の分類)
- 金属材料のマイクロ粉砕加工
- 超音波振動を用いたマイクロバレル研磨による鏡面仕上げ加工
- 超精密6軸マイクロ加工機の開発
- カップ砥石による球面レンズ金型のELID 創成研削法及び特性
- 金型コーナー部のELID鏡面研削効果 : 第2報 : 加工精度の向上について
- 異方性圧縮SLIM法による精密非球面光学素子測定点群の近似曲面生成
- 25pTN-2 中性子微分位相コントラストイメージング法の開発(25pTN X線・粒子線(中性子),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
- 緊急地震速報技術の展望