超精密6軸マイクロ加工機の開発
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概要
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- 1998-09-01
著者
-
田中 克敏
東芝機械(株)
-
森田 晋也
理化学研究所
-
大森 整
理化学研究所
-
伊藤 伸英
茨城大学
-
山形 豊
理化学研究所
-
中川 威雄
理化学研究所
-
中川 威雄
東大生研
-
中川 威雄
東大・生産技術研究所
-
牧野内 昭武
理化学研究所
-
守安 精
理化学研究所
-
山形 豊
理化学研究所中央研究所
-
田中 克敏
東芝機械
-
伊藤 伸英
茨城大学工学部機械工学科
-
中川 威雄
ファインテック
-
中川 威雄
東大 生産技研
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