超精密加工機械の高精度化の研究 : 第2報 : リニアモータ駆動方式有限形V-Vころがり案内の検討
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概要
著者
-
田中 克敏
東芝機械(株)
-
鈴木 清
日本工業大学
-
植松 哲太郎
富山県立大学
-
福田 将彦
東芝機械(株)
-
植松 哲太郎
(財)富山県新世紀産業機構
-
覚張 勝治
東芝機械(株)
-
田中 克敏
東芝機械(株)ナノ加工システム事業部
-
福田 将彦
東芝機械
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