超精密加工機械の高精度化の研究 : 第1報 : 自成絞り方式空気静圧スピンドルの高性能化
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概要
著者
-
田中 克敏
東芝機械(株)
-
鈴木 清
日本工業大学
-
植松 哲太郎
富山県立大学
-
植松 哲太郎
(財)富山県新世紀産業機構
-
木村 誠司
東芝機械(株)
-
田中 克敏
東芝機械(株)ナノ加工システム事業部
-
木村 誠司
東芝機械
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