石英X線ミラーのELID研削加工における加工面粗さの向上
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概要
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- 2001-02-01
著者
-
大森 整
理化学研究所
-
河西 敏雄
埼玉大学大学院
-
林 偉民
理化学研究所
-
守安 精
理研
-
山形 豊
理化学研究所
-
牧野内 昭武
理化学研究所
-
守安 精
理化学研究所
-
山形 豊
理化学研究所中央研究所
-
森田 晋也
東京大学大学院
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