504 X線用CVD-SiCミラーの超精密ELID研削(機械工作・生産工学)
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概要
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This paper describes that a CVD-SiC X-ray mirror with the cylindrical surface was grinded by using ultraprecision micro-form generating machine with ELID system. The grinding wheels used were trued in a R-shape with a high profile accuracy by the micro EDT device on the machine. As an grinding experimental result, a good form accuracy could be achieved successfully.
- 2000-08-15
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